• Information & Opto-Energy Materials (IOEM) Laboratory
  • Kentech 정보·광에너지 소재 연구실

Journal
Ex-situ formation of oxide-interlayer-mediated-epitaxial CoSi2 film using Ti-capping 1999
  • Year of publication

    2010년 이전

  • Author

    G.B.Kim, J.S.Kwak, H.K.Baik, S.-M.Lee

  • Journal

    J. Vac. Sci. Tech. B

  • Volume

    17

  • Page

    162-165

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