• Information & Opto-Energy Materials (IOEM) Laboratory
  • Kentech 정보·광에너지 소재 연구실

Journal
Study on Ta diffusion barrier in Al/Si system 1999
  • Year of publication

    2010년 이전

  • Author

    J.Kim, D.-S.Yoon, J.S.Kwak, H.K.Baik, S.-M.Lee

  • Journal

    J. Electron. Mater.

  • Volume

    28

  • Page

    6-12

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