Study on Ta diffusion barrier in Al/Si system 1999
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Year of publication
2010년 이전
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Author
J.Kim, D.-S.Yoon, J.S.Kwak, H.K.Baik, S.-M.Lee
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Journal
J. Electron. Mater.
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Volume
28
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Page
6-12
Kentech 정보·광에너지 소재 연구실
Year of publication
2010년 이전
Author
J.Kim, D.-S.Yoon, J.S.Kwak, H.K.Baik, S.-M.Lee
Journal
J. Electron. Mater.
Volume
28
Page
6-12