Suppression of silicide formation in Ta/Si system by ion-beam-assisted deposition 1997
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Year of publication
2010년 이전
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Author
J.S.Kwak, H.K.Baik, J.H.Kim, S.-M.Lee
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Journal
Appl. Phys. Lett.
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Volume
71
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Page
2451-2453
Kentech 정보·광에너지 소재 연구실
Year of publication
2010년 이전
Author
J.S.Kwak, H.K.Baik, J.H.Kim, S.-M.Lee
Journal
Appl. Phys. Lett.
Volume
71
Page
2451-2453